[发明专利]清洁装置及清洁方法在审
| 申请号： | 201811466157.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN111250480A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 左权 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洁装置及清洁方法，清洁装置包括静电除尘器，静电除尘器包括集尘极及电晕极；驱动部件，驱动部件至少包括两个伸缩单元及一个旋转单元；伸缩单元与静电除尘器相连接，通过伸缩单元控制静电除尘器的位移；旋转单元与伸缩单元相连接，位于伸缩单元之间，通过旋转单元控制伸缩单元的方向。本发明的清洁装置及清洁方法，通过清洁装置中的驱动部件调试静电除尘器的位置，提高操作便捷性；通过静电除尘器，进行静电除尘；从而在半导体设备中可有效清洁悬浮于空气中的颗粒、清洁耗时短、清洁效率高、清洁效果好、在清洁过程中不会引入外来颗粒，因此可节约资源及提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
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