[发明专利]一种片式元器件检测方法及系统在审
| 申请号： | 201811467410.1 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109541032A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陈金涛;朱彬若;张垠;王新刚;江剑锋;朱铮;顾臻;赵舫;魏晓川;朱文君;王有亮;刘丽媛;何胜宗;彭泽亚 | 申请（专利权）人： | 国网上海市电力公司;工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 吴开磊 |
| 地址： | 200122 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种片式元器件检测方法及系统，包括，根据第一预设扫描方式对目标片式元器件进行表面检测，得到第一扫描数据；根据第二预设扫描方式对所述目标片式元器件进行内部检测，得到第二扫描数据；根据所述第一扫描数据和所述第二扫描数据分析得到所述目标片式元器件的分析结果。避免了固封、研磨等剖面制备方法对元件内部结构的破坏，可以全面的观察其内部存在的缺陷，使得片式元器件的检测更为精确和方便。 | ||
| 搜索关键词： | 片式元器件 扫描数据 扫描方式 预设 检测 表面检测 内部检测 研磨 固封 制备 观察 分析 | ||
【主权项】：
1.一种片式元器件检测方法，其特征在于，包括：根据第一预设扫描方式对目标片式元器件进行表面检测，得到第一扫描数据；根据第二预设扫描方式对所述目标片式元器件进行内部检测，得到第二扫描数据；根据所述第一扫描数据和所述第二扫描数据分析得到所述目标片式元器件的分析结果。
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