[发明专利]低啁啾分布布拉格反射可调谐激光器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811471393.9 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109560459A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 周代兵;刘云龙;赵玲娟;梁松;王圩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/125 | 分类号： | H01S5/125;H01S5/22;H01S5/343 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种低啁啾分布布拉格反馈可调谐激光器及其制备方法，其中低啁啾分布布拉格反馈可调谐激光器，包括：位于同一衬底、等高且顺次贴合的前光栅区、增益区、相位区和后光栅区；所述前光栅区、后光栅区和相位区均包括无源材料层，所述无源材料层置于所述衬底上，所述前光栅区和后光栅区在所述无源材料层上还分别设有光栅结构；所述光栅结构为均匀周期的分布布拉格光栅和/或取样光栅；所述增益区，自下而上顺次包括：下波导层、有源层和上波导层。本公开中前光栅区和后光栅区的均匀周期的分布布拉格光栅结构，并结合相位区的电流作用，控制并减少可调谐激光器的啁啾，延长光的传输距离并提高传输质量。 | ||
| 搜索关键词： | 可调谐激光器 后光栅区 前光栅区 无源材料 光栅结构 均匀周期 增益区 衬底 制备 布拉格光栅结构 分布布拉格反射 布拉格光栅 传输距离 电流作用 取样光栅 上波导层 下波导层 反馈 等高 贴合 源层 传输 | ||
【主权项】：
1.一种低啁啾分布布拉格反馈可调谐激光器，包括：位于同一衬底、等高且顺次贴合的前光栅区、增益区、相位区和后光栅区；所述前光栅区、后光栅区和相位区均包括无源材料层，所述无源材料层置于所述衬底上，所述前光栅区和后光栅区在所述无源材料层上还分别设有光栅结构；所述光栅结构为均匀周期的分布布拉格光栅和/或取样光栅；所述增益区，自下而上顺次包括：下波导层、有源层和上波导层，所述下波导层形成于所述衬底上。
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