[发明专利]一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置在审

专利信息
申请号: 201811471900.9 申请日: 2018-12-04
公开(公告)号: CN109443404A 公开(公告)日: 2019-03-08
发明(设计)人: 沈常宇;刘姝仪;张崇 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01D5/353 分类号: G01D5/353
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置,由宽带LED光源(1),光纤耦合器(2),光电探测器(3),镀膜的光纤反射端(4),扫描反射镜(5),带卡托(6)的测量滑轨(7)和倾斜光纤光栅(12)组成;其特征在于:宽带LED光源(1)与光纤耦合器(2)的第一端口(8)相连,光纤耦合器(2)的第二端口(9)与光电探测器(3)相连,光纤耦合器(2)的第三端口(10)刻有倾斜光纤光栅(12),光纤耦合器(2)的末端为镀膜的光纤反射端(4),光纤耦合器(2)的第四端口(11)与扫描反射镜(5)固定于带卡托(6)的测量滑轨(7)上;扫描反射镜(5)与测量滑轨(7)的夹角范围为85度至95度可调;光纤耦合器(2)的第三端口(10)的镀膜的光纤反射端(4)镀3‑4纳米厚的金膜;测量滑轨(7)的量程为0‑300mm。
搜索关键词: 光纤耦合器 滑轨 测量 扫描反射镜 光纤反射 镀膜 倾斜光纤光栅 光电探测器 白光干涉 带卡 宽带 光纤 金膜 可调 量程
【主权项】:
1.一种带测量滑轨的光纤白光干涉装置,由宽带LED光源(1),光纤耦合器(2),光电探测器(3),镀膜的光纤反射端(4),扫描反射镜(5),带卡托(6)的测量滑轨(7)和倾斜光纤光栅(12)组成;其特征在于:宽带LED光源(1)与光纤耦合器(2)的第一端口(8)相连,光纤耦合器(2)的第二端口(9)与光电探测器(3)相连,光纤耦合器(2)的第三端口(10)刻有倾斜光纤光栅(12),光纤耦合器(2)的末端为镀膜的光纤反射端(4),光纤耦合器(2)的第四端口(11)与扫描反射镜(5)固定于带卡托(6)的测量滑轨(7)上;扫描反射镜(5)与测量滑轨(7)的夹角范围为85度至95度可调;光纤耦合器(2)的第三端口(10)的镀膜的光纤反射端(4)镀3‑4纳米厚的金膜;测量滑轨(7)的量程为0‑300mm。
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