[发明专利]一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置有效
| 申请号： | 201811472063.1 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109848798B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;王华;凌俭波;马健;王锦;叶建明 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/14 | 分类号： | B24B19/14;B24B41/04;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元；本发明提供的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，通过对探针台放置cleaning unit的底座结构进行改造，做成抽屉式柱状体，来达到可以存放多个cleaning unit的目的，多个cleaning unit上可以放置不同的砂纸类型，方便随时更换进行实验对比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 测试 探针 台上 保护 效率 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其特征在于：将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元，当要更换磨针单元时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出磨针单元，将最上方的磨针单元替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元，更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度，即可继续测试。
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