[发明专利]一种长波红外探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种长波红外探测器，其组成包括：衬底、外延薄膜和横向导电电极，所述的衬底上方为外延薄膜，所述的外延薄膜上形成掺杂区域，所述的掺杂区域形成纵向量子阱阵列，所述的纵向量子阱阵列上设置有一对横向导电电极，所述的横向导电电极之间通过导线连接电流表和电池。该装置将MSM探测器的快响特点与量子阱的长波红外响应特点结合起来，当量子阱深度足够大时能够对信号光充分吸收，且无须复杂的光耦合结构工艺，极大地简化了工艺流程，减少了制作难度，增加了光响应效率，由于采用离子注入掺杂工艺形成量子阱结构，因此衬底选择范围广，同时外延结构生长工艺和制作工艺简单，易于集成。

主权项

1.一种长波红外探测器，其组成包括：衬底(1)、外延薄膜(2)和横向导电电极(3)，其特征是：所述的衬底(1)上方为外延薄膜(2)，所述的外延薄膜(2)上形成掺杂区域，所述的掺杂区域形成纵向量子阱阵列(4)，所述的纵向量子阱阵列(4)上设置有一对横向导电电极(3)，所述的横向导电电极(3)之间通过导线连接电流表(5)和电池(6)。