[发明专利]形成导角的切割方法有效
| 申请号： | 201811473108.7 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN111168251B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张芯语;周府隆;黄建融;林于中;李闵凯 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/362;B23K26/70;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种形成导角的切割方法，包括以下步骤：依据预切割的导角角度，选定激光光型调整模块；发射激光光束至载板，并于载板的厚度方向上形成改质区；调整激光光型调整模块的激光光束的轴向光型能量分布，以改变改质区的形貌，并形成符合预切割的导角角度的改质区；以及对改质后的载板进行蚀刻，使载板的改质区切断以形成导角断面。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 切割 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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