[发明专利]一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法

摘要

本发明公布了一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器及制备方法。本发明首先采用微纳加工技术制作3D微腔阻抗传感器；对肿瘤细胞进行3D球体细胞培养；将3D球体细胞接种至微腔阻抗传感器中的梯形微槽结构内，3D球体细胞会与微槽侧壁上的对电极贴附并会引起对电极表面电子转移效率下降，使对电极的阻抗值上升，随着3D球体细胞增殖球体的直径增大，对电极的阻抗值增大，而当抗肿瘤药物作用于3D球体细胞引起细胞凋亡之后，对电极的阻抗值会下降，通过计算3D球体细胞的阻抗值变化率监测3D球体细胞的活性及增殖能力。本发明构建的微腔阻抗传感器可以实时长时高通量的监测3D球体细胞活性及增殖能力。

主权项

1.一种用于3D细胞活性及增殖能力实时监测的微腔阻抗传感器，其特征在于，该传感器以硅晶圆作为基底，在基底上覆盖SiO₂层，在SiO₂层上刻蚀出若干梯形微槽结构，在梯形微槽结构的侧壁上设置两个对电极，在SiO₂层的边缘设置金属接触盘，对电极通过引线连接金属接触盘，并在引线上方覆盖绝缘层，横截面为正方环形的PMMA材质腔体固定在基底上；3D细胞接种在梯形微槽结构内，与对电极接触，检测阻抗指标。