[发明专利]一种使用离子探针测量惰性气体的方法及其系统

摘要

本发明公开了一种使用离子探针测量惰性气体的方法及其系统，该方法包括：将被测样品嵌入环氧树脂中制成样品靶，所述被测样品中包含惰性气体原子；在将所制成的样品靶放入离子探针的分析腔体之后，对所述分析腔体抽真空，其中所述离子探针包括一次离子源、电子枪、质量分析器和离子接收器；利用所述一次离子源形成的一次离子来轰击所述样品靶以使得所述样品靶中的惰性气体原子释放出来；利用所述电子枪形成的电子束对释放出来的惰性气体原子进行电离以形成惰性气体离子；以及利用所述质量分析器和所述离子接收器对包含有所述惰性气体离子的二次离子进行分析，以实现对所述惰性气体的测量。

主权项

1.一种使用离子探针测量惰性气体的方法，其特征在于，包括：/n将被测样品嵌入环氧树脂中制成样品靶，所述被测样品中包含惰性气体原子；/n在将所制成的样品靶放入离子探针的分析腔体之后，对所述分析腔体抽真空，其中所述离子探针包括一次离子源、电子枪、质量分析器和离子接收器；/n利用所述一次离子源形成的一次离子来轰击所述样品靶以使得所述样品靶中的惰性气体原子释放出来；/n利用所述电子枪形成的电子束对释放出来的惰性气体原子进行电离以形成惰性气体离子；以及/n利用所述质量分析器和所述离子接收器对包含有所述惰性气体离子的二次离子进行分析，以实现对所述惰性气体的测量；/n其中所述一次离子源形成的一次离子与所述电子枪形成的电子束在所述样品靶表面的位置相互重合；/n其中，所述电子枪包括电子枪灯丝、电子引出极、电磁透镜以及电子束偏转板；所述电子枪灯丝在电流的加热下形成电子并逸出；所述电子枪灯丝上通过的电流强度、以及所述电子枪灯丝和所述电子引出极之间的电压能够被调节来控制发射电子的电流强度；所述电磁透镜用于将电子聚焦到所述样品靶的表面以形成所述电子束；所述电子束偏转板上的电压能够被调节以改变所述电子束在所述样品靶的表面上的位置；/n其中，所述二次离子在所述质量分析器的作用下实现对特定质荷比的所述二次离子的筛选，随后经筛选的所述二次离子进入所述离子接收器以实现对所述惰性气体的测量；/n其中在对所述分析腔体抽真空时同时采用涡轮分子泵和离子泵，所述离子泵与所述分析腔体相连通，所述涡轮分子泵和所述离子泵之间设有隔离阀；其中在对所述分析腔体抽真空时先打开所述隔离阀，用所述涡轮分子泵将所述分析腔体抽真空至低于1×10