[发明专利]一种声质点振速传感器的制备方法有效
申请号: | 201811476299.2 | 申请日: | 2018-12-04 |
公开(公告)号: | CN109612574B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 孙娜;许相园;鲍明;卢明辉 | 申请(专利权)人: | 南京粒子声学科技有限公司 |
主分类号: | G01H17/00 | 分类号: | G01H17/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 江苏法德东恒律师事务所 32305 | 代理人: | 李媛媛 |
地址: | 210046 江苏省南京市栖霞区仙*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种声质点振速传感器的制备方法,包括如下步骤:(1)将配置好的金属溶液吸入吸液管中;(2)将吸液管固定在纳米位移平台上,吸液管针头的下方放置基底;(3)纳米位移平台控制吸液管以恒定速度垂直向上抬起一定距离,停留一段时间,在基底表面形成金属液滴;(4)纳米位移平台继续控制吸液管水平运动,形成直径为纳米尺度的金属细丝;位移平台停止后在基底表面形成第二个金属液滴,金属细线悬空在两个金属液滴之间;(5)将基底与吸液管脱离,再重复步骤(3)至(4)制备另外一条平行的金属细丝,最后进行高温处理。本发明的制备方法简单高效,获得的悬空金属细丝热容很小,能够快速响应空气声波扰动所引起的温度变化。 | ||
搜索关键词: | 一种 质点 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种声质点振速传感器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)配制金属溶液,将金属溶液吸入吸液管中;(2)将吸液管固定在纳米位移平台上,吸液管针头的下方放置基底;(3)纳米位移平台控制吸液管以恒定速度垂直向上抬起一定距离,停留一段时间,在基底表面形成金属液滴;(4)纳米位移平台继续控制吸液管水平运动,形成直径为纳米尺度的金属细丝;位移平台停止后在基底表面形成第二个金属液滴,所述金属细线悬空在两个金属液滴之间;(5)将基底与吸液管脱离,再重复步骤(3)至(4)制备另外一条平行的悬空金属细丝,最后进行高温处理。
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