[发明专利]纳米压印装置及纳米压印方法在审
| 申请号： | 201811476309.2 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109656097A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 童美魁;段晓东 | 申请（专利权）人： | 上海安翰医疗技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 201206 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种纳米压印装置及纳米压印方法，用于将纳米压印组件中模板上的纳米图案印制于纳米压印组件的基片上，纳米压印装置包括密封工作室，所述密封工作室上开设有吸气孔及进气孔；真空泵，所述真空泵通过吸气孔与密封工作室相连通；柔性透明覆盖膜，所述柔性透明覆盖膜盖设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使所述柔性透明覆盖膜与所述密封工作室的底板之间形成一容置所述纳米压印组件的容置腔。该纳米压印装置无需使用高压气体和额外的加压装置，结构简单，操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米压印 密封工作室 纳米压印装置 透明覆盖膜 吸气孔 真空泵 底板 底板接触 高压气体 加压装置 纳米图案 进气孔 容置腔 盖设 容置 跨过 印制 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印装置，用于将纳米压印组件中模板上的纳米图案印制于纳米压印组件的基片上，其特征在于：包括密封工作室，所述密封工作室上开设有吸气孔及进气孔；真空泵，所述真空泵通过吸气孔与密封工作室相连通；柔性透明覆盖膜，所述柔性透明覆盖膜盖设于所述纳米压印组件上，并跨过所述纳米压印组件的边缘后与所述密封工作室的底板接触，使所述柔性透明覆盖膜与所述密封工作室的底板之间形成一容置所述纳米压印组件的容置腔。
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