[发明专利]纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件在审
| 申请号： | 201811476313.9 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109656098A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 童美魁;段晓东 | 申请（专利权）人： | 上海安翰医疗技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 201206 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种纳米压印弹性模板的制作方法、纳米压印弹性模板及组件，该方法包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。该制作方法能够避免母板上纳米压印胶的残存，提高母板的使用次数，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米压印 母板 纳米压印胶 弹性模板 基板 弹性支撑层 制作 依次设置 增粘层 印制 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印弹性模板的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：提供基片，在基片的一侧上依次设置弹性支撑层、增粘层及纳米压印胶层，形成基板；提供母板，在母板上形成有纳米压印结构；将基板中纳米压印胶所在的一侧与母板中纳米压印结构所在的一侧接触；将纳米压印结构印制于纳米压印胶层上；将基板与母板分离；将基片与弹性支撑层分离。
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