[发明专利]MEMS芯片结构及制备方法、掩膜版、器件在审
| 申请号： | 201811476831.0 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109650324A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 汪际军 | 申请（专利权）人： | 全普光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS芯片结构及制备方法、掩膜版、器件，通过设置MEMS主元件和MEMS辅助元件，将驱动电路元件、逻辑运算元件、CPU中央处理元件、电源与MEMS主元件融合在同一个芯片上，免去了传统MEMS器件中多个处理电路板所占用的较大较多的空间，显著缩小了以MEMS为基础的器件体积；也即是，去除了外围电路设计，采用本发明的MEMS芯片结构，将无需使用传统的芯片外围电路，由于芯片外围电路占据电器件产品的主要空间和体积，这将使得本发明的MEMS芯片结构为基础的电器件产品的体积和占据空间大大减小，真正的实现了电器件的微型化和便携性。 | ||
| 搜索关键词： | 电器件 芯片外围电路 掩膜版 主元件 制备 逻辑运算元件 驱动电路元件 外围电路设计 中央处理元件 微型化 处理电路板 辅助元件 占据空间 便携性 传统的 减小 电源 芯片 占用 融合 占据 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS芯片结构，其特征在于，在同一芯片上包括：MEMS主元件，用于反射光束和扫描图像；MEMS辅助元件，包括：驱动电路元件，一端与外界元器件相连，另一端与MEMS反射镜的电路相电连，用于提供驱动功率，控制外界元器件和MEMS反射镜的运行；逻辑运算元件，与驱动电路元件相连接，用于进行逻辑运算，控制驱动电路元件的启闭；CPU中央处理元件，一端与外界元器件相连，另一端与驱动电路元件、逻辑运算元件、电源相电连，用于向驱动电路元件、逻辑运算元件、存储元件、电源发送信号并控制驱动电路元件、逻辑运算元件、电源的逻辑关系；以及用于控制外界元器件的逻辑关系；电源，一端与外界元器件相连，另一端与MEMS反射镜、驱动电路元件、逻辑运算元件、CPU中央处理元件相电连，用于向各个元件或外界提供电能。
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