[发明专利]一种制备周期极化畴反转晶体的装置及方法在审
| 申请号： | 201811476904.6 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109375450A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孔剑;王丹丹 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G02F1/355 | 分类号： | G02F1/355 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备周期极化畴反转晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的两侧分别设置有两电极板，两电极板连接位于真空腔外的控制电路，控制电路控制两电极板之间产生高频低压电场，铁电晶体的上方设置有若干电晕线，电晕线连接位于真空腔外的气体源和高压电源。同时也公开了相应的方法。本发明在电晕放电提供外加电场的基础上引入高频低压电场的扰动，以实现铁电晶体‑C面上电荷的均匀分布，从而实现极化电场的均匀分布，极化电场分布均匀程度高，能够实现高良品率的批量生产，并且由于降低了极化电场对电晕线的依赖程度，可以有效降低生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电晶体 真空腔 极化电场 电极板 电晕线 极化畴反转 周期性电极 电场 高频低压 控制电路 制备周期 晶体的 电晕放电 高压电源 降低生产 外加电场 电荷 接地 良品率 气体源 样品台 扰动 底面 刻蚀 引入 生产 | ||
【主权项】：
1.一种制备周期极化畴反转晶体的装置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的两侧分别设置有两电极板，两电极板连接位于真空腔外的控制电路，控制电路控制两电极板之间产生高频低压电场，铁电晶体的上方设置有若干电晕线，电晕线连接位于真空腔外的气体源和高压电源。
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