[发明专利]一种制备周期极化畴反转结构晶体的装置在审
| 申请号： | 201811476905.0 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109358460A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 孔剑;徐晨晨 | 申请（专利权）人： | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号： | G02F1/355 | 分类号： | G02F1/355 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备周期极化畴反转结构晶体的装置，包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有电晕线和激光分束装置，电晕线连接气体源和高压电源，激光分束装置连接激光器，激光器通过激光分束装置将若干束激光射向铁电晶体顶面。本发明通过增加激光诱导降低了铁电晶体的矫顽电场，从而降低极化电压的峰值，实现较低电压下的极化，降低了极化过程中铁电晶体被击穿的可能性，提升生产过程中的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电晶体 激光分束装置 极化畴反转 周期性电极 结构晶体 制备周期 激光器 电晕线 真空腔 高压电源 激光诱导 极化电压 极化过程 矫顽电场 生产过程 极化 接地 低电压 良品率 气体源 样品台 底面 顶面 击穿 刻蚀 激光 | ||
【主权项】：
1.一种制备周期极化畴反转结构晶体的装置，其特征在于：包括真空腔，真空腔的底部设置有样品台，样品台上设置有铁电晶体，铁电晶体的底面刻蚀有周期性电极，周期性电极接地，铁电晶体的上方设置有电晕线和激光分束装置，电晕线连接气体源和高压电源，激光分束装置连接激光器，激光器通过激光分束装置将若干束激光射向铁电晶体顶面。
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