[发明专利]检测晶边洗边边界的方法

摘要

本发明涉及一种检测晶边洗边边界的方法，涉及半导体制造工艺，包括提供包括探测器的晶圆扫描机台；定位探测器的镜头，使探测器镜头能够扫描到晶圆厚度方向的一个特定厚度Δd的图像，然后旋转晶圆，使探测器镜头以特定厚度Δd为扫描范围扫描晶圆一周，并对扫描得到的图形做近似矩形处理，得到一个宽为Δd＇、长为晶圆周长C的矩形扫描图像；将矩形扫描图像分成M个单元，每个单元分成N个像素，对N个像素做卷积处理，得到洗边边界特征数据库，其中，M1，N1；设定晶圆洗边边界阈值，对洗边边界特征数据库相邻两行的数据做差计算，当相邻两行的差值大于阈值时，认为是洗边边界，并报告出洗边边界，以精确检测晶边洗边边界。

主权项

1.一种检测晶边洗边边界的方法，其特征在于，包括：S1：提供一晶圆扫描机台，包括承片台、晶圆以及探测器，所述承片台用于承载所述晶圆，所述探测器位于所述承片台附近，其中，沿晶圆厚度方向从晶圆顶层到晶圆底层的厚度为d，所述探测器用于扫描所述晶圆厚度方向的图像；S2：定位所述探测器的镜头，使所述探测器镜头能够扫描到所述晶圆厚度方向的一个特定厚度Δd的图像，然后旋转所述晶圆，使所述探测器镜头以特定厚度Δd为扫描范围扫描晶圆一周，并对扫描得到的图形做近似矩形处理，得到一个宽为Δd＇、长为晶圆周长C的矩形扫描图像；S3：将所述矩形扫描图像分成M个单元，每个单元分成N个像素，对N个像素做卷积处理，得到洗边边界特征数据库，其中，M>1，N>1；以及S4：设定晶圆洗边边界阈值，对所述洗边边界特征数据库相邻两行的数据做差计算，当相邻两行的差值大于所述阈值时，认为是洗边边界，并报告出洗边边界。