[发明专利]一种不限量程的高精度二维平面位移测量系统有效
| 申请号： | 201811479156.7 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109489561B | 公开（公告）日： | 2019-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 王勇 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 王晓青 |
| 地址： | 225000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种不限量程的高精度二维平面位移测量系统，涉及精密或超精密机械设备中的高精度位移位置测量反馈部件的设备领域。包括计算机、二维平面、安装在机械设备运动部件内的速度计、高倍放大光显微镜，二维平面与运动部件的运动位移平面平行，高倍放大显微镜的镜头垂直朝向二维平面，二维平面上铺设有一层随机分布的点光源，计算机分别与高倍放大显微镜和速度计连接。本发明提供的测量方案具有高达数个纳米的位移测量精度，可同时对运动平面上的两个移动方向进行高精度的位移测量，且不存在反馈脉冲丢失的问题。结合高精度的微量进给技术条件下，可以为实现用低精度机械设备来生产高精度的机械设备或工件提供了一个可行的途径。 | ||
| 搜索关键词： | 二维平面 机械设备 高倍放大显微镜 位移测量系统 位移测量 运动部件 速度计 限量 超精密机械 荧光显微镜 反馈部件 反馈脉冲 高倍放大 技术条件 精度位移 平面平行 设备领域 随机分布 微量进给 位置测量 移动方向 运动平面 运动位移 点光源 计算机 上铺 精密 测量 垂直 镜头 生产 | ||
【主权项】：
1.一种不限量程的高精度二维平面位移测量系统，作为机械设备的位置位移测量反馈部件，用于对机械设备上的运动部件的位移量进行测量，其特征在于：包括计算机、固定在机械设备上的二维平面、安装在机械设备运动部件内的速度计、高倍放大显微镜，二维平面与运动部件的运动位移平面平行，高倍放大显微镜的镜头垂直朝向二维平面，且与二维平面内保持在聚焦距离，二维平面上铺设有一层随机分布的点光源，计算机分别与高倍放大显微镜和速度计连接；所述高倍放大显微镜用于拍摄二维平面上的点光源分布图片、并且所拍摄的相邻两幅图片之间有重合区域；速度计用于记录运动部件在各个时间点的速度；计算机用于接收高倍放大显微镜所拍摄到的图像以及速度计测得的数据，从而提取出机械设备运动部件的平面位移量。
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