[发明专利]ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法

摘要

一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置及测量方法，包括泵浦连续激光器、探测连续激光器、分束镜、功率计、万用表及计算机，通过在线实时测量ITO透明导电膜的透过率和电阻率的变化来判定ITO透明导电膜在连续激光辐照下的功能性激光损伤阈值。本发明可有效评价ITO透明导电膜的功能性激光损伤阈值，为ITO透明导电膜在连续激光辐照下的应用提供依据。该方法最重要的是在测量之前先对ITO透明导电膜进行带状结构的刻蚀处理，以便于激光辐照处ITO透明导电膜电阻率的准确测量。

主权项

1.一种ITO透明导电膜功能性激光损伤阈值的测量装置，其特征在于，包括：泵浦连续激光器(1)、可二维移动的样品台(3)、探测连续激光器(4)、分束镜(5)、第一功率计(6)、第二功率计(7)、计算机(8)和万用表(9)；待测ITO透明导电膜样品(2)的膜面需刻蚀出一个宽度为d的带状结构，且带状结构宽度d为所述泵浦连续激光器(1)辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(6)表面的光斑直径D的1.5～2倍；所述待测ITO透明导电膜样品(2)夹持在所述样品台(3)上，所述泵浦连续激光器(1)输出的激光垂直辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面，所述探测连续激光器(4)输出的激光经所述分束镜(5)后分成反射光束和透射光束，反射光束由所述第一功率计(6)接收，透射光束以一定角度辐照在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面，辐照区域与所述泵浦连续激光器(1)辐照的区域重合，且经待测ITO透明导电膜样品(2)透射的光束由所述第二功率计(7)接收；所述万用表(9)的两个探头分别固定在所述待测ITO透明导电膜样品(2)表面带状结构的两端，所述计算机(8)的输入端分别与所述第一功率计(6)、第二功率计(7)和万用表(9)的输出端相连。