[发明专利]一种扩容的翘板式微波功率传感器有效
| 申请号： | 201811485537.6 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109270340B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王德波;谷新丰;杨磊 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G01R21/00 | 分类号： | G01R21/00;G01R27/26 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 王素琴 |
| 地址： | 210033 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扩容的翘板式微波功率传感器，包括一衬底、共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极以及翘板式双端悬臂梁，共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极依次固定在衬底上表面，翘板式双端悬臂梁设置于共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极正上方；且第一传感电极和第二传感电极通过金线连接，翘板式双端悬臂梁的两自由端位于第一传感电极和第二传感电极的正上方，形成两个并联的感应电容；共面波导传输线包括设置在衬底上表面中心位置的中心信号线和等距设置在中心信号线两侧的两个地线，且两个地线上设置有用于固定翘板式双端悬臂梁的桥墩；本发明整体结构简单、易于集成，具有良好的可靠性和灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩容 板式 微波 功率 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种扩容的翘板式微波功率传感器，其特征在于，所述传感器包括一衬底、共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极以及翘板式双端悬臂梁，所述共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极按指定方向顺序固定在所述衬底上表面，所述翘板式双端悬臂梁设置于所述共面波导传输线、第一传感电极和第二传感电极正上方；且所述第一传感电极和第二传感电极通过金线连接，所述翘板式双端悬臂梁的两自由端位于所述第一传感电极和第二传感电极的正上方，由两个所述自由端分别与所述第一传感电极和第二传感电极形成两个并联的感应电容；其中，所述共面波导传输线包括设置在所述衬底上表面中心位置的中心信号线和等距设置在所述中心信号线两侧的两个地线，且两个所述地线上设置有用于固定所述翘板式双端悬臂梁的桥墩。
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