[发明专利]红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法

摘要

本公开涉及红外线传感器及其辐射热测量计红外线受光部的冷却方法。红外线传感器具备有凹部的基底基板、辐射热测量计红外线受光部及珀耳帖元件。上述红外线受光部具备电阻变化层、辐射热测量计第1梁及辐射热测量计第2梁。珀耳帖元件具备由p型半导体材料形成的珀耳帖第1梁及由n型半导体材料形成的珀耳帖第2梁，珀耳帖元件与上述红外线受光部背侧的面接触。辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自的一端与基底基板连接，上述红外线受光部及珀耳帖元件悬架在基底基板上部，辐射热测量计第1梁和第2梁及珀耳帖第1梁和第2梁各自具备包含规则地排列的多个贯通孔的声子晶体结构。由此能够兼具优异的检测灵敏度及优异的响应速度。

主权项

1.一种红外线传感器，具备：具有凹部的基底基板、辐射热测量计红外线受光部、以及珀耳帖元件，在此，所述辐射热测量计红外线受光部具备：电阻因吸收红外线而变化的电阻变化层、与所述电阻变化层电连接的辐射热测量计第1梁、以及与所述电阻变化层电连接的辐射热测量计第2梁，所述珀耳帖元件夹在所述辐射热测量计红外线受光部与所述凹部之间，所述红外线照射在所述辐射热测量计红外线受光部的表侧的面上，所述珀耳帖元件具备由p型半导体材料形成的珀耳帖第1梁以及由n型半导体材料形成的珀耳帖第2梁，所述珀耳帖元件与所述辐射热测量计红外线受光部的背侧的面相接触，所述辐射热测量计第1梁的一端、所述辐射热测量计第2梁的一端、所述珀耳帖第1梁的一端以及所述珀耳帖第2梁的一端与所述基底基板连接，所述辐射热测量计红外线受光部、所述珀耳帖元件、所述辐射热测量计第1梁、所述辐射热测量计第2梁、所述珀耳帖第1梁以及所述珀耳帖第2梁悬架在所述基底基板的上部，所述辐射热测量计第1梁具备包含规则地排列的多个贯通孔的第1声子晶体结构，所述辐射热测量计第2梁具备包含规则地排列的多个贯通孔的第2声子晶体结构，所述珀耳帖第1梁具备包含规则地排列的多个贯通孔的第3声子晶体结构，并且所述珀耳帖第2梁具备包含规则地排列的多个贯通孔的第4声子晶体结构。