[发明专利]一种用于锂电池的初晶态纳米硅负极材料的制备方法

摘要

本发明提供一种用于锂电池的初晶态纳米硅负极材料的制备方法，包括以下步骤：选取导电薄膜材料，按照使用的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的载具尺寸进行裁切作为衬底材料；对衬底进行氢等离子轰击清洗；通入氢气、硅烷等工艺气体，设置合适的沉积工艺条件，在铜箔衬底上沉积制备200～1000nm厚度的初晶态纳米硅负极材料。本发明提供的用于锂电池的初晶态纳米硅负极材料及其制备方法，采用光伏行业普遍采用的PECVD设备，制备的初晶态纳米硅材料的厚度均匀性以及与衬底的附着性良好，作为锂电池的负极材料，与传统的石墨负极材料比较，可以大幅度提高锂电负极的质量比容量等电性能指标。

主权项

1.一种用于锂电池的初晶态纳米硅负极材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、选取导电薄膜材料并按设备载具尺寸进行裁切；步骤2、将衬底材料与PECVD设备载具固定并装入设备抽气；步骤3、通入氢气并用产生的等离子体对衬底表面进行轰击清洗；步骤4、按照比例通入氢气、硅烷等工艺气体并保持设定压力稳定；步骤5、按照设定的温度、射频功率工艺参数沉积初晶态纳米硅材料。