[发明专利]非极性面型BeZnOS合金晶体基MSM紫外光探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种非极性面型BeZnOS合金晶体MSM紫外光探测器及其制备方法。本发明的探测器首先采用常规脉冲激光烧蚀沉积或磁控溅射、电子束蒸发等方法在r面蓝宝石上生长a面的BeZnOS薄膜，使薄膜即有源层内部就存在与表面平行的自发极化电场，然后利用蒸镀法或光刻法在BeZnOS薄膜表面形成一对指间距为5～100μm的平行金属电极制得。本发明探测器对波长在300nm左右的紫外光具有良好的探测能力，有着较快的响应速度和较小的暗电流。另外，本发明的电极形状以及沟道宽度均可以自由设计和优化，且本发明制得的MSM结构的紫外光探测器结构简单，制作工艺简单，方便大规模制备。

主权项

1.一种基于非极性面型BeZnOS合金晶体的MSM紫外光探测器，其特征在于：所述探测器从下至上依次包括r面蓝宝石衬底、有源层、一对平行金属电极，其中：所述有源层为a面BeZnOS四元合金薄膜，所述平行金属电极垂直于所述BeZnOS四元合金薄膜的c轴方向。