[发明专利]一种基于非极性m面BeMgZnO透明薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于非极性m面BeMgZnO透明薄膜平面太阳能电池及其制备方法。所述太阳能电池从下至上依次包括m面蓝宝石衬底、m面BeMgZnO四元合金薄膜、一对平行金属电极，其中：所述电极垂直于所述合金薄膜的c轴方向。所述平面太阳能电池是以m面蓝宝石作为衬底，采用脉冲激光烧蚀沉积方法在衬底表面烧蚀陶瓷靶材得到m面BeMgZnO外延薄膜，然后在BeMgZnO薄膜表面蒸镀一对金属电极。本发明创新性地利用非极性m面BeMgZnO薄膜中自发极化电场而非P‑N结内建电场来分离光生载流子以实现光电转换，本发明想法独特，制备工艺简单、原料成本低，适合工业化生产，为透明太阳能电池的开发开辟了一种全新的途径。

主权项

1.一种基于非极性m面BeMgZnO透明薄膜太阳能电池，其特征在于：所述太阳能电池从下至上依次包括m面蓝宝石衬底、光吸收层、一对平行金属电极，其中：所述光吸收层为非极性m面BeMgZnO四元合金薄膜，所述平行金属电极用于收集光生电子，所述平行金属电极垂直于所述m面BeMgZnO四元合金薄膜的c轴方向。