[发明专利]一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法在审
| 申请号： | 201811490227.3 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109404322A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;董云宁;柏向春;杨传森;郝慧萍 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00;F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 高杰;王军 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种宽量程高精度分子泵抽速测试系统及方法。该测试系统包括干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道等。通过本发明的技术方案，测试系统的真空度测量范围达到10‑1～10‑7帕，测量不确定度小于10％。 | ||
| 搜索关键词： | 测试系统 分子泵 真空规 真空阀门 宽量程 抽速 流量计 测量不确定度 真空度测量 真空管道 干泵 气源 测试 | ||
【主权项】：
1.一种分子泵抽速的测试系统，该测试系统包括：干泵RP、分子泵TMP、测试罩VC1、第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、第一真空阀门V1、第二真空阀门V2、流量计FM、气源和真空管道，其中所述干泵RP通过真空管道与所述分子泵TMP的抽气出口连接，所述分子泵TMP的抽气口与所述测试罩VC1连接；所述测试罩VC1的测试口与所述分子泵TMP抽气口连接，在所述测试罩VC1同一水平截面有多个接口，其分别与第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3、进气管道连接；所述第一真空规G1、第二真空规G2、第三真空规G3分别与所述测试罩VC1连接；所述第一真空阀门V1的一端与所述测试罩VC1连接，另一端通过真空管道与所述流量计FM连接；所述流量计FM一端通过真空管道与所述第一真空阀门V1连接，另一端通过真空管道与所述第二真空阀门V2连接；所述第二真空阀门V2一端通过真空管道与所述流量计FM连接，另一端通过真空管道与所述气源连接；所述气源通过真空管道与所述第二真空阀门V2连接。
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