[发明专利]一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法在审
| 申请号： | 201811490232.4 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109519407A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;董云宁;闫睿;柏向春;杨传森 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王军;陈艳 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法，该装置包括：前级泵、分子泵、测试罩、第一～第五真空规、第一～第四阀门、流量计和气源，其中前级泵与第四阀门连接，第四阀门分别于前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接；第四和第五真空规连接在分子泵和第四阀门之间的管路处；分子泵的出气口与第四阀门连接，抽气口与测试罩连接，测试罩的测试口与分子泵抽气口连接。利用本发明的测试装置，解决了传统测量范围较小的问题，延伸了压力测量范围并且提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 分子泵 阀门 测试装置 前级泵 真空规 阀门连接 宽量程 压缩比 测试 流量计 分子泵抽气 传统测量 压力测量 测试口 抽气口 出气口 测量 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于分子泵压缩比的测试装置，包括：前级泵、分子泵、测试罩、第一～第五真空规、第一～第四阀门、流量计和气源，其中前级泵通过管道与第四阀门连接，所述第四阀门分别与所述前级泵、第三阀门、第四和第五真空规及分子泵连接；所述第四和第五真空规通过管路连接在所述分子泵和第四阀门之间的管路处；所述分子泵的出气口与所述第四阀门连接，抽气口与所述测试罩连接，所述测试罩的测试口与所述分子泵抽气口连接；在所述测试罩同一水平截面有若干接口，分别与第一、第二、第三真空规、进气管道连接，所述第一、第二和第三真空规分别与所述测试罩连接，第一阀门一端与所述测试罩连接，另一端通过管道与所述流量计连接，该流量计一端通过管道与所述第一阀门连接，另一端通过管道与第二阀门连接，该第二阀门一端通过管道与所述流量计连接，另一端通过管道与所述气源连接，第三阀门一端通过管道与所述流量计连接，另一端连接在所述分子泵和第四阀门之间的管路处，所述气源通过管道与第二阀门连接。
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