[发明专利]一种声波探测器有效
| 申请号： | 201811490922.X | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109489804B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 邓海蛟;张中侠;王天堃 | 申请（专利权）人： | 翟如选 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 杨剑 |
| 地址： | 317100 浙江省台*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种声波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有半导体层，所述半导体层的上方设置有绝缘层，所述绝缘层的上方设置有柔性载体层，所述柔性载体层的上方设置有石墨烯层,该声波探测器，通过声波传递到石墨烯层，产生形变，引起石墨烯层的介电常数发生变化，通过检测石墨烯层所加载的电压的变化，进行声波的检测；同时该声波探测器的半导体层可以与调控电压进行电连接，以便作为栅极，调控石墨烯层的介电常数；也可以通过入射光直接入射石墨烯层，使得石墨烯层的介电常数变化，对石墨烯层的介电常数进行调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种声波探测器,包括衬底层(1),其特征在于:所述衬底层(1)的上方设置有半导体层(2)，所述半导体层(2)的上方设置有绝缘层(3)，所述绝缘层(3)的上方设置有柔性载体层(4)，所述柔性载体层(4)的上方设置有石墨烯层(5)。
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