[发明专利]一种光伏电池制造用扩散炉进气装置及其控制方法

摘要

本发明涉及光伏制造技术领域，且公开了一种光伏电池制造用扩散炉进气装置及其控制方法，包括主通管、流量控制阀Ⅰ和恒温槽，主通管的进气端设有流量控制阀Ⅰ，恒温槽的顶端固定套接有载流管和进气管，载流管位于恒温槽的外部设有流量控制阀Ⅱ。本发明通过称重传感器对恒温槽称重以检测恒温槽的重量变化率，即小N2携带的POCl3的重量变化率，由此，PLC控制器与气动式调节阀的配合工作，根据称重传感器的反馈数据控制经由进氧管通入主通管的O2含量，保证O2依过程反应所需比例通入，实现O2通入量与恒温槽内POCl3的单位时间供给量能够依过程反应所需比例达到实时动态平衡，提高资源有效利用率，降低因O2过量通入给温控系统带来的额外负载强度。

主权项

1.一种光伏电池制造用扩散炉进气装置，包括主通管(1)、流量控制阀Ⅰ(2)和恒温槽(3)，所述主通管(1)的进气端设有流量控制阀Ⅰ(2)，所述恒温槽(3)的顶端固定套接有载流管(4)和进气管(6)，所述载流管(4)位于恒温槽(3)的外部设有流量控制阀Ⅱ(5)，所述恒温槽(3)的一端伸入恒温槽(3)内腔的底部，所述进气管(6)的底端位于恒温槽(3)内腔的顶端，所述进气管(6)的另一端伸入主通管(1)的内部，所述主通管(1)的内部还连通有进氧管(7)，所述进氧管(7)的另一端伸出主通管(1)的外部，其特征在于：所述进氧管(7)伸出主通管(1)外部的一端固定安装有流量计(8)，所述流量计(8)的进气口设有缓释管(10)，所述缓释管(10)的另一端固定连接有气动式调节阀(9)，所述气动式调节阀(9)的另一端连通O2供给源，所述恒温槽(3)的底端固定安装有称重传感器(11)，所述主通管(1)的另一端与扩散炉进气口连接段之间设有一段螺旋段(12)，所述称重传感器(11)的信号输出端与A/D转换器(13)的信号输入端电连接，所述A/D转换器(13)的信号输出端与PLC控制器输入单元(1401)的输入端电连接，所述PLC控制器输入单元(1401)的输出端电连接有PLC控制器处理单元(1402)，所述PLC控制器处理单元(1402)的输出端电连接有PLC控制器输出单元(1403)，所述PLC控制器输出单元(1403)的信号输出端与A/D转换器(13)的信号输入端电连接，所述A/D转换器(13)的信号输出端与气动式调节阀(9)的信号输入端电连接。