[发明专利]一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法有效
申请号: | 201811493172.1 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN109504945B | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 鞠鹏飞;刘京周;臧旭升;唐丽娜;朱雪龙;周宏;郭立杰 | 申请(专利权)人: | 上海航天设备制造总厂有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
代理公司: | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人: | 周乃鑫;朱成之 |
地址: | 200245 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层及其制备方法,该固体润滑膜层包含:基体、含Ag扩散层、涂层;该涂层包含:依次沉积在基体上的Cr籽晶层及含Ag非晶碳膜层;该含Ag扩散层位于邻近Cr籽晶层的基体中,由基体材料,以及,自Cr籽晶层扩散掺杂至基体材料中的Ag原子形成。本发明先在基体上沉积Cr籽晶层,再采用磁控共溅射石墨靶和Ag靶,通过调控溅射Ag电流大小,沉积梯度过渡Ag功能层;最后经热处理,促使涂层中Ag原子向基体扩散,实现含Ag抗菌功能层厚度的增加,获得的涂层在经过长时间摩擦实验后,抗菌等级不降低,达到长效抗菌的效果,尤其适用于空间站长效抗菌润滑部件,有很大的实际应用需求和良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 空间 环境 长效 抗菌 固体 润滑 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种空间环境用长效抗菌固体润滑膜层,其特征在于,该固体润滑膜层包含:基体、含Ag扩散层、涂层,所述的涂层包含:依次沉积在基体上的Cr籽晶层及含Ag非晶碳膜层;其中,所述的含Ag扩散层位于邻近Cr籽晶层的基体中,由基体材料,以及,自Cr籽晶层扩散掺杂至基体材料中的Ag原子形成。
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