[发明专利]一种铁电薄膜的制备方法及应用在审
| 申请号： | 201811493945.6 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109574658A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 丑修建;耿文平;张启程;穆继亮;侯晓娟;何剑;陈茜 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | C04B35/48 | 分类号： | C04B35/48 |
| 代理公司： | 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 姜伯炎;王路丰 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用，首先，用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料，乙酸和乙酸酐为溶剂，制备铪锆氧前驱体溶液，然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请提供的铁电薄膜，具有良好的晶体结构和良好的铁电性能，与硅兼容性好，在氧化硅片上生长光滑致密，此外，避免了采用有毒的铅或者含铅的材料做原料，不会对环境造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 铁电薄膜 制备 电容器 乙酸 应用 致密 前驱体溶液 乙酰丙酮锆 高温退火 晶体结构 铁电性能 氧化硅片 乙酰丙酮 兼容性 乙酸酐 溶剂 干化 热解 涂覆 锆氧 光滑 申请 生长 污染 | ||
【主权项】：
1.一种铁电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：制备铪锆氧前驱体溶液：按照摩尔比为Hf:Zr＝x:(1‑x)称取乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆并混合均匀，加入乙酸和乙酸酐混合溶液中，在惰气氛围下加热至130‑150℃反应0.5‑6小时，得到铪锆氧前驱体溶液(HfxZr(1‑x)O2)，其中，x的取值范围是0.2≤x≤0.8，铪和锆在铪锆氧前驱体溶液中的总浓度C为0.4mol/L；将所述铪锆氧前驱体溶液进行涂覆、干化热解得到无定型结构薄膜，重复上述操作，直至到达所需膜厚；将无定型结构薄膜进行高温退火，得到铁电薄膜。
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