[发明专利]一种基于中介层散射的针孔随动共焦显微装置和方法

摘要

一种基于中介层散射的针孔随动共焦显微装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径高陡度光学元件测量效率低的问题。激光器发出的照明激光光通过耦合光纤输出，依次经过准直镜、物镜，物镜将激光汇聚至镀有荧光膜的待测样品，样品激发的荧光依次经过物镜、准直镜，耦合光纤、滤光片，最终入射至光电探测器，高速微位移执行器带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径高陡度光学元件表面轮廓。

主权项

1.一种基于中介层散射的针孔随动共焦显微装置和方法，其特征在于包括：所述共焦显微装置包括照明系统、探测系统和位移执行器件；所述照明系统包括激光器(1)、耦合光纤(2)、准直镜(4)、物镜(5)和二维位移平台(9)；所述激光器(1)发出的激光经过耦合光纤(2)形成点光源射出，所述点光源经所述准直镜(4)后形成平行光，所述平行光由所述物镜(5)将激光聚焦至镀有荧光膜的待测样品(6)上；所述探测系统包括物镜(5)、准直镜(4)、耦合光纤(2)、滤波片(7)和光电探测器(8)；待测样品(6)激发的荧光经物镜(5)、准直镜(4)聚焦至耦合光纤(2)，经过滤波片(7)后传导至所述光电探测器(8)；所述照明系统和探测系统共用耦合光纤(2)、准直镜(4)、和物镜(5)；所述位移执行器器件(3)为高速微位移器件，带动耦合光纤(2)进行轴向扫描，完成对被测点的测量。