[发明专利]一种测量扭矩与温度的声表面波传感器及检测方法在审
| 申请号： | 201811494520.7 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109405887A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 赵青青;王春风;王萌;孟旭;张德生 | 申请（专利权）人： | 黑龙江东方学院 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 曹徐婷 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种测量扭矩与温度的声表面波传感器及检测方法属于声表面波传感器领域；安装温度和扭矩传感器既费时又费力；包括传感器基底的左侧上表面设置有氧化锌薄膜层，氧化锌薄膜层上表面设置有左侧叉指换能器、第一反射栅、第二反射栅和第一吸声条，第一反射栅和第二反射栅分别设置在左侧叉指换能器的两侧，第一吸声条设置在第一反射栅或第二反射栅的外侧，传感器基底的右侧上表面设置有右侧叉指换能器、第三反射栅、第四反射栅和第二吸声条，第三反射栅和第四反射栅分别设置在右侧叉指换能器的两侧，第二吸声条设置在第三反射栅或第四反射栅的外侧；实现了一种既能够检测温度又能够检测扭矩的传感器，节约了安装的时间和人力。 | ||
| 搜索关键词： | 反射栅 叉指换能器 吸声 声表面波传感器 上表面 传感器 氧化锌薄膜层 测量扭矩 基底 检测 扭矩传感器 检测扭矩 费力 节约 | ||
【主权项】：
1.一种测量扭矩与温度的声表面波传感器，其特征在于，包括左侧叉指换能器(1)、右侧叉指换能器(2)、传感器基底(3)、氧化锌薄膜层(4)、第一反射栅(5)、第二反射栅(6)、第三反射栅(7)、第四反射栅(8)、第一吸声条(9)和第二吸声条(10)；所述氧化锌薄膜层(4)的面积小于传感器基底(3)的面积，且大于左侧叉指换能器(1)的面积和右侧叉指换能器(2)的面积，所述第一反射栅(7)、第二反射栅(8)、第三反射栅(7)和/或第四反射栅(8)中的反射栅的数量为若干；所述传感器基底(3)的左侧上表面设置有氧化锌薄膜层(4)，所述氧化锌薄膜层(4)上表面设置有左侧叉指换能器(1)、第一反射栅(5)、第二反射栅(6)和第一吸声条(9)，所述第一反射栅(5)和第二反射栅(6)分别设置在左侧叉指换能器(1)的两侧，所述第一吸声条(9)设置在第一反射栅(5)或第二反射栅(6)的向外的一侧，所述传感器基底(3)的右侧上表面设置有右侧叉指换能器(2)、第三反射栅(7)、第四反射栅(8)和第二吸声条(10)，所述第三反射栅(7)和第四反射栅(8)分别设置在右侧叉指换能器(2)的两侧，所述第二吸声条(10)设置在第三反射栅(7)或第四反射栅(8)的向外的一侧。
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