[发明专利]一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法

摘要

本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法，属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、遮挡式环形光发生器、分光棱镜和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜，入射至探测互补光阑，反射光被探测互补光阑遮挡，散射光依次经过探测互补光阑、收集透镜和探测针孔，最终入射至光电探测器，从而完成对亚表面的检测。本发明采用遮挡式环形光发生器生成环形光，采用环形光束照明样品，结合探测互补光阑实现暗场共焦，解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题，装置简单易于实现，适用于亚表面无损检测。

主权项

1.一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置，其特征在于，包括：照明系统和探测系统；所述照明系统包括点光源(1)、准直镜(2)、遮挡式环形光发生器(3)、分光棱镜(4)和物镜(5)；所述遮挡式环形光发生器(3)中心被遮挡；所述点光源(1)发出的光线依次经过所述准直镜(2)、所述遮挡式环形光发生器(3)和分光棱镜(4)，所述分光棱镜(4)产生分光棱镜反射光和透射光，所述透射光透射至所述物镜(5)，最终光线聚焦至待测样品(6)上；所述探测系统包括物镜(5)、分光棱镜(4)、探测互补光阑(7)、收集透镜(8)、探测针孔(9)、光电探测器(10)；其中所述照明系统和探测系统共用分光棱镜(4)和物镜(5)；所述分光棱镜反射光入射至所述探测互补光阑(7)；所述待测样品(6)上产生样品反射光和散射光，所述样品反射光和所述散射光依次经所述物镜(5)、所述分光棱镜(4)、所述探测互补光阑(7)、所述收集透镜(8)和所述探测针孔(9)入射至所述光电探测器(10)。