[发明专利]连续真空镀膜装置及镀膜系统在审
| 申请号： | 201811501324.8 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109518153A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王君;郭爱云;汪友林 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种连续真空镀膜装置及镀膜系统，一种连续真空镀膜装置，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，运送机构至少设置有两个，其中至少一个运送机构用于将待镀件输送至进片室内，其中至少另一个运送机构用于将已镀件由出片室输送到外部；进片室的顶部、镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有传送机构。本申请可实现对工件在相邻真空室内的传送，自动化成都高，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 运送机构 出片室 镀膜室 连续真空镀膜装置 进片室 传送机构 镀膜系统 插板阀 推式 室内 真空镀膜技术 生产效率 相邻真空 待镀件 镀件 进片 申请 自动化 传送 外部 | ||
【主权项】：
1.一种连续真空镀膜装置，其特征在于，包括:运送机构、进片室、镀膜室、出片室和传送机构；所述进片室与所述镀膜室之间设置有第一竖推式插板阀，所述第一竖推式插板阀用于控制所述进片室与所述镀膜室相连通或者相隔离；所述镀膜室与所述出片室之间设置有第二竖推式插板阀，所述第二竖推式插板阀用于控制所述镀膜室与所述出片室相连通或者相隔离；所述运送机构至少设置有两个，其中至少一个所述运送机构用于将待镀件输送至所述进片室内，其中至少另一个所述运送机构用于将已镀件由所述出片室输送到外部；所述进片室的顶部、所述镀膜室的顶部与所述出片室的顶部均设置有所述传送机构。
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