[发明专利]超疏水类金刚石复合层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811502359.3 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111254391B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 高星 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 超疏水类金刚石复合层及其制备方法。本发明提供了一种类金刚石复合层的制备方法，包括以下步骤：提供基底，对所述基底依次进行预处理、辉光清洗和离子刻蚀清洗；将经清洗后的基底置于沉积室中，采用磁控溅射方法在所述基底表面制备金属硼化物层；将沉积有制金属硼化物层的样品置于加热装置中进行退火处理，制备表面具有微纳结构结构的氧化物层，其中，所述退火处理的方法为：在温度为450℃～650℃的条件下保温1h～8h；将所述氧化物层进行表面清洗处理后，置于沉积室中，在所述氧化物层的表面沉积氟掺杂类金刚石层。 | ||
| 搜索关键词： | 疏水 金刚石 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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