[发明专利]一种射频辅助放电型高效冷启动空心阴极

摘要

本发明公开了一种射频辅助放电型高效冷启动空心阴极，通过在传统冷启动空心阴极前级增加射频辅助放电组件，经计算射频能量的95％以上可以耦合到放电气体内，可以延长传统空心阴极等离子体放电区域，提高工质气体的利用率，进而在与传统空心阴极相同的发射体条件下，相同发射电流下可以降低发射体的负担，有效延长了空心阴极发射体的寿命，同时也降低了预点火阶段对点火电源的要求；触持极和阴极顶材料全部为抗离子轰击溅射，耐高温的失效材料，同时由于射频预电离过程的引入，有效降低了空心阴极工作电压，有效提高了空心阴极耐溅射能力，提高了空心阴极寿命。

主权项

1.一种射频辅助放电型空心阴极，环形结构的空心阴极从外到内依次包括触持极(1)、热屏蔽组件(5)、阴极管(3)以及发射体(4)，其特征在于，还包括辅助放电组件；辅助放电组件包括陶瓷材料的支撑管(6)和同轴绕在支撑管(6)外壁的射频线圈(7)；支撑管(6)同轴固连在阴极管(3)的前端；所述射频线圈(7)用于发射射频频率电磁波，将进入到空心阴极的工质气体进行激发和电离。