[发明专利]浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置及浓度控制方法

摘要

提供浓度控制装置、气体控制系统、成膜装置、浓度控制方法及浓度控制装置用程序记录介质。在间歇性从汽化罐导出材料气体的浓度控制装置中，为了控制载气、稀释气体的流量以抑制材料气体的供给期间开始不久的材料气体浓度过冲，具备：设定流量计算部(33)，基于在供给材料气体的第一供给期间内的第一预定时刻由浓度计算部(32)算出的实际浓度、在该第一供给期间内的第一预定时刻从流量控制设备(40)输出的实际流量或该第一供给期间内的第一预定时刻的流量控制设备(40)的设定流量和预先设定的目标浓度，计算在第一供给期间后的第二供给期间内的作为从开始到第二预定时刻为止的期间的初始区间内的流量控制设备(40)的初始设定流量。

主权项

1.一种浓度控制装置，其特征在于，用于汽化装置，所述汽化装置具备：储存液体或固体的材料的汽化罐；向所述汽化罐供给载气的载气供给路径；所述材料汽化而被从所述汽化罐导出的材料气体所流通的材料气体导出路径；与所述材料气体导出路径合流而向该材料气体导出路径供给稀释气体的稀释气体供给路径；设置于所述载气供给路径和所述稀释气体供给路径中的至少一方的流量控制设备；以及设置于所述材料气体导出路径的比与所述稀释气体供给路径的合流点靠近下游侧的位置的浓度监测器，所述汽化装置重复进行所述材料气体的供给与停止，所述浓度控制装置具备：浓度计算部，其基于来自所述浓度监测器的输出信号来计算所述材料气体的浓度；以及设定流量计算部，其基于在供给所述材料气体的第一供给期间内的第一预定时刻由所述浓度计算部算出的实际浓度、在该第一供给期间内的第一预定时刻从所述流量控制设备输出的实际流量或该第一供给期间内的第一预定时刻的所述流量控制设备的设定流量、以及预先设定的目标浓度，计算在所述第一供给期间之后的第二供给期间内的作为直到第二预定时刻为止的期间的初始区间内的所述流量控制设备的初始设定流量。