[发明专利]一种聚乙烯醇磷酸酯磷扩散源及其制备方法在审
申请号: | 201811504927.3 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN109411570A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 赵画;仝华;李国庆;杨云霞;袁双龙;孙辛杰;袁晓 | 申请(专利权)人: | 华东理工大学 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/225 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200237 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出了一种适用于旋涂磷扩散制程的聚乙烯醇磷酸酯磷源。该磷源以聚乙烯醇和磷酸为原料,尿素为催化剂,水和二元醇醚为溶剂,通过聚乙烯醇和磷酸的酯化反应制备聚乙烯醇磷酸酯磷源。所述磷源的n(聚乙烯醇/磷酸)为0.5‑1。将磷酸和聚乙烯醇水溶液在90‑97℃下混合搅拌3‑6小时,在尿素的催化作用下进行酯化反应得到聚乙烯醇磷酸酯溶液,再将其分散在二元醇醚中。所得的聚乙烯醇磷酸酯磷源通过旋涂、烘干和扩散等工艺,可在P型硅片上得到30‑100Ω/□的方块电阻,p‑n结深度为0.5‑0.7μm。该磷源制备方法简单可行,反应条件温和,磷源组分可自由调节,磷源原料易得,制备成本低,适合大规模生产。 | ||
搜索关键词: | 磷源 聚乙烯醇 磷酸酯 制备 聚乙烯 醇和磷酸 二元醇醚 酯化反应 磷扩散 磷酸 旋涂 尿素 聚乙烯醇水溶液 磷酸酯溶液 催化作用 反应条件 方块电阻 自由调节 烘干 溶剂 制程 催化剂 扩散 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池用液态磷源及其制备方法,其特征在于液态磷源由聚乙烯醇磷酸酯、水和有机溶剂组成,该磷源由以下步骤制得:1)将5‑10wt%的聚乙烯醇水溶液中按照m(尿素/聚乙烯醇)为1.5‑2的比例加入尿素搅拌加热至80‑90℃使尿素完全溶解,按照聚乙烯醇和磷酸摩尔比为0.5‑1的比例称取磷酸加入到聚乙烯醇水溶液中,搅拌加热至90‑97℃反应3‑6h,得到聚乙烯醇磷酸酯溶液;2)将制备好的聚乙烯醇磷酸酯溶液按v(聚乙烯醇磷酸酯/丙二醇甲醚)为1‑2的比例分散在有机溶剂中,得到液态磷源。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的