[发明专利]一种发光二极管芯片及其制造方法与应用在审

专利信息
申请号: 201811507843.5 申请日: 2018-12-11
公开(公告)号: CN109599464A 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 吴化胜;刘亚柱;赵帅;操娟;张洪波;张丽 申请(专利权)人: 合肥彩虹蓝光科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/14;H01L33/46;H01L27/15
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 王华英
地址: 230011 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提出一种发光二极管芯片及其制造方法与应用,包括:提供一衬底;形成一外延结构于所述衬底上,其中,所述外延结构至少包括第一半导体层,发光层,第二半导体层;形成电流阻挡层于所述外延结构的第一半导体层上;形成电流扩展层于所述电流阻挡层上;移除部分所述外延结构,形成凹槽,以暴露部分所述第二半导体层;移除部分所述电流扩展层,以形成一间隔区于所述电流扩展层和所述凹槽之间;形成第一电极于所述电流扩展层上,以及形成第二电极于暴露出的部分所述第二半导体层上。本发明对现有的发光二极管芯片的制造工艺进行了改善,能够提高发光二极管芯片的亮度,同时也能提高发光二极管芯片的生产良率,能够进行推广应用。
搜索关键词: 发光二极管芯片 半导体层 电流扩展层 外延结构 电流阻挡层 衬底 移除 第二电极 第一电极 制造工艺 发光层 间隔区 暴露 良率 应用 制造 生产
【主权项】:
1.一种发光二极管芯片的制造方法,其特征在于:包括,提供一衬底;形成一外延结构于所述衬底上,其中,所述外延结构至少包括第一半导体层,发光层,第二半导体层;形成电流阻挡层于所述外延结构的第一半导体层上;形成电流扩展层于所述电流阻挡层上;移除部分所述外延结构,形成凹槽,以暴露部分所述第二半导体层;移除部分所述电流扩展层,以形成一间隔区于所述电流扩展层和所述凹槽之间;形成第一电极于所述电流扩展层上,以及形成第二电极于暴露出的部分所述第二半导体层上。
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