[发明专利]一种类石墨碳氮薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201811507844.X | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109353998A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 郑学刚 | 申请（专利权）人： | 临沂大学 |
| 主分类号： | C01B21/082 | 分类号： | C01B21/082 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 276005 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜技术领域，公开了一种类石墨碳氮薄膜的制备方法，将20克三聚氢胺加入高温反应釜，然后将多个硅片或石英衬底清洗后放入釜内；反应釜密闭后放入坩埚炉加热，温度变化范围为400‑550摄氏度之间，时间为3～12小时；反应结束后自然降温，将衬底取出，从上下表面得到g‑CN薄膜。本发明有效克服了现有制备g‑CN薄膜技术中，制备的薄膜往往表面粗糙，与衬底附着力弱，光响应效果差，成本高，制备效率低的技术问题。本发明提供的制备方法简单、易操作；成膜质量较好，易于大批量制备；可在衬底上面表面同时制备薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 衬底 薄膜 氮薄膜 石墨碳 放入 附着力 薄膜技术领域 高温反应釜 薄膜技术 三聚氢胺 上下表面 自然降温 反应釜 光响应 石英衬 坩埚炉 成膜 硅片 密闭 加热 清洗 取出 | ||
【主权项】：
1.一种类石墨碳氮薄膜的制备方法，其特征在于，所述的类石墨碳氮薄膜的制备方法，具体包括以下步骤：步骤一：将20克三聚氢胺加入高温反应釜，然后将多个硅片或石英衬底清洗后放入釜内；步骤二：反应釜密闭后放入坩埚炉加热，温度为400～550摄氏度，时间3～12小时；步骤三：反应结束后自然降温，将衬底取出，从衬底上下表面得到g‑CN薄膜。
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