[发明专利]一种电磁MEMS微镜在审
| 申请号： | 201811508143.8 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109521561A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李帆雅 | 申请（专利权）人： | 苏州希景微机电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种电磁MEMS微镜，其中，包括框架，所述框架内还设置有镜面，所述镜面通过第一转轴与所述框架内侧连接，所述框架外侧还设置有第二转轴，所述镜面的背面设置有软磁薄膜。上述电磁MEMS微镜，软磁薄膜和带有磁芯的第一驱动线圈产生的电磁力，为第一转轴(快轴)提供驱动力；永磁体和第二驱动线圈产生的电磁力，为第二转轴(慢轴)提供驱动力；以此实现光栅扫描，增加快轴扫描频率，同时对慢轴能够实现静态驱动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 转轴 镜面 驱动线圈 软磁薄膜 电磁力 驱动力 快轴 慢轴 背面设置 光栅扫描 静态驱动 扫描频率 永磁体 磁芯 | ||
【主权项】：
1.一种电磁MEMS微镜，其特征在于，包括框架，所述框架内还设置有镜面，所述镜面通过第一转轴与所述框架内侧连接，所述框架外侧还设置有第二转轴，所述镜面的背面设置有软磁薄膜。
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