[发明专利]一种横向元器件制样研磨方法有效
| 申请号： | 201811509557.2 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109580305B | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 廉鹏飞;刘相全;孔泽斌;罗宇华;杨亮亮;刘伟鑫;楼建设;徐导进 | 申请（专利权）人： | 上海精密计量测试研究所;上海航天信息研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 余岢 |
| 地址： | 201109 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种横向元器件制样研磨的方法，该方法步骤如下：步骤一、根据元器件的高度首先确定样品高度，并在制样前于模具内侧标记第一高度，以及第二高度，确保元器件位于样品高度上的中心；步骤二、按要求配置环氧树脂，并将环氧树脂加至模具内的第一高度处；步骤三、待环氧树脂固化后，将元器件横向置于其表面的正中心处；步骤四、再次将环氧树脂加至第二高度，此时元器件位于样品高度上的中心；步骤五、固化后完成制样，新方法与传统制样方法相比，样品体积会有效减小；步骤六、粗磨；步骤七、精磨：使用细砂纸进行精磨，直至形貌达到最佳观测效果；步骤八、抛光：用抛光液及相匹配的抛光布抛光，直至形貌达到最佳观测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 横向 元器件 研磨 方法 | ||
【主权项】：
1.一种横向元器件制样研磨的方法，其特征在于，包括步骤如下：步骤一、根据元器件的高度首先确定样品高度，并在制样前于模具内侧标记第一高度即元器件底面高度，以及第二高度即样品的上表面高度，确保元器件位于样品高度上的中心；步骤二、按要求配置环氧树脂，并将环氧树脂加至模具内的第一高度处；步骤三、待环氧树脂固化后，将元器件横向置于其表面的正中心处；步骤四、再次将环氧树脂加至第二高度，此时元器件位于样品高度上中心；步骤五、固化后完成制样；步骤六、粗磨：步骤七、精磨：步骤八、抛光。
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