[发明专利]一种基于分光镜分光的SP激发照明超分辨光刻镜头和装置在审
| 申请号： | 201811509704.6 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109613801A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 罗先刚;王长涛;赵承伟;蒲明博;李雄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于分光镜分光的SP激发照明超分辨光刻镜头和装置，属于超分辨光刻镜头和装置的改进和创新技术领域。该装置包括用于保护光刻装置的空气净化系统、用于产生i线紫外曝光光束的光源、用于激发照明的分光镜分光系统、用于承载表面等离子体成像器件的掩模承载模块和用于承载基片的工作台，其中分光镜分光系统和掩模承载模块组成SP激发照明超分辨光刻镜头。该装置采用分光镜分光的方式，在不破坏光源光场均匀性的前提下，实现了表面等离子体激发照明，提高了近场工作距，提高了成像对比度，实现了超分辨光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 超分辨 分光镜 光刻 激发 分光 镜头 承载模块 分光系统 掩模 表面等离子体 等离子体成像 空气净化系统 成像对比度 承载表面 承载基片 创新技术 光刻装置 紫外曝光 工作距 光源光 均匀性 工作台 近场 光源 改进 | ||
【主权项】：
1.一种基于分光镜分光的SP激发照明超分辨光刻装置，其特征在于：该装置包括用于保护光刻装置的空气净化系统(1)、用于产生i线紫外曝光光束的光源(2)、用于激发照明的分光镜分光系统(3)、用于承载表面等离子体成像器件的掩模承载模块(4)和用于承载基片的工作台(5)；所述的工作台(5)包括XY轴精密移动平台(18)、手动升降台(16)、承片台(15)和基片(12)，其中手动升降台(16)安装在XY轴精密移动平台(18)上，承片台(15)安装在手动升降台(16)上，基片(12)安放在承片台(15)上。
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