[发明专利]一种质子交换炉及其使用方法有效
| 申请号： | 201811510241.5 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109610005B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 傅力;冷栋;丁丽;黄晓东;岳爱文 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;武汉光迅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/04 | 分类号： | C30B31/04;C30B29/30 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光波导芯片制造技术领域，公开了一种质子交换炉及其使用方法，质子交换炉包括炉体、石英管、石英夹具、机械手、废液回收系统，石英管放置在炉体中，石英管内设置有质子交换反应溶液，石英夹具装载有晶圆，晶圆浸入质子交换反应溶液中，石英夹具与机械手连接，废液回收系统与石英管连通；进行质子交换工艺时，石英管放置在炉体中进行加热，通过机械手控制石英夹具在质子交换反应溶液中进行上下往复运动和左右旋转运动；质子交换工艺完成后，通过废液回收系统将石英管中的质子交换反应溶液抽出。本发明解决了现有技术中质子交换的一致性、可生产性较差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质子 交换 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种质子交换炉，其特征在于，包括：炉体、石英管、石英夹具、机械手、废液回收系统；所述石英管放置在所述炉体中，所述石英管内设置有质子交换反应溶液，所述石英夹具装载有晶圆，所述晶圆浸入所述质子交换反应溶液中，所述石英夹具与所述机械手连接，所述废液回收系统与所述石英管连通。
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