[发明专利]一种双向瞬态电压抑制器及其制作方法在审
| 申请号： | 201811511229.6 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109768076A | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 泉州臻美智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L27/02;H01L21/822 |
| 代理公司： | 深圳市知顶顶知识产权代理有限公司 44504 | 代理人： | 马世中 |
| 地址： | 362216 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种双向瞬态电压抑制器及其制作方法，包括：提供第二导电类型的衬底，刻蚀所述衬底形成沟槽，在所述沟槽的侧壁形成第二导电类型的第二外延层，第三外延层，在所述衬底上表面形成第一导电类型的第四外延层，在所述衬底下表面形成第一导电类型的第五外延层，在所述第四外延层上表面形成第一金属层，在所述第五外延层下表面形成第二金属层。该双向瞬态电压抑制器通过多组PN结提高了双向瞬态电压抑制器的抗击穿电压能力，该双向瞬态电压抑制器具有多路双向功能，方便应用过程中对多个电路同时保护，降低了功率器件的应用成本。同时该双向瞬态电压抑制器只需进行1次刻蚀工艺，降低了制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 双向瞬态电压抑制器 外延层 第一导电类型 导电类型 衬底 制作 衬底上表面 衬底下表面 第二金属层 第一金属层 电压能力 功率器件 刻蚀工艺 双向功能 应用成本 应用过程 抗击穿 上表面 下表面 侧壁 多路 刻蚀 电路 | ||
【主权项】：
1.一种双向瞬态电压抑制器的制作方法，其特征在于，包括：提供第二导电类型的衬底；刻蚀所述衬底形成沟槽；在所述沟槽的侧壁形成第二导电类型的第二外延层；在所述衬底上表面和所述沟槽的剩余部分形成第一导电类型的第三外延层；在所述第三外延层上表面形成树脂层；在所述树脂层上表面注入氧离子和氩离子；湿法刻蚀去掉所述树脂层和所述衬底上表面的所述第三外延层；在所述衬底上表面形成第一导电类型的第四外延层，所述第四外延层的离子浓度高于所述第三外延层的离子浓度；在所述衬底下表面形成第一导电类型的第五外延层；在所述第四外延层上表面形成第一金属层；在所述第五外延层下表面形成第二金属层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泉州臻美智能科技有限公司，未经泉州臻美智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811511229.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种FCE二极管及其制造方法
- 下一篇：一种低触发电压硅控整流器及制备方法
- 同类专利
- 专利分类
