[发明专利]一种气敏型LaCoO3

摘要

本发明公开了一种气敏型LaCoO3外延薄膜的制备方法，包括：将PMN‑PT单晶基底清洗后吹干；取镧盐和钴盐加入去离子水中，搅拌后加入一水柠檬酸，搅拌，得到金属盐溶液；配制聚合物溶液，在搅拌金属盐溶液的同时将聚合物溶液逐滴滴入金属盐溶液中，滴加完成后，在室温下搅拌混合溶液10h；然后将混合溶液加热至60～70℃，搅拌，使混合溶液缓慢蒸发至溶液剩余一半，得到前驱体溶液；利用旋涂方法将前驱体溶液旋涂在PMN‑PT单晶基底上成膜，旋涂完毕后将样品置于刚玉方舟内进行热处理，冷却至室温，得到LaCoO3外延薄膜。本发明通过高分子辅助沉积法，在PMN‑PT单晶基底上制备了LaCoO3外延薄膜，该LaCoO3外延薄膜对一氧化碳气体的敏感度高。

主权项

1.一种气敏型LaCoO3外延薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将PMN‑PT单晶基底置于丙酮中超声清洗10～30min，然后用去离子水冲洗后吹干；步骤二、按重量份，取0.15～0.3份镧盐和0.1～0.2份钴盐，然后加入3～6份去离子水中，搅拌10～30min，然后加入0.3～0.4份一水柠檬酸，搅拌，得到金属盐溶液；步骤三、按重量份，取质量浓度为40～60％的聚合物溶液Ⅰ0.4～0.6份，加入3～6份去离子水中，搅拌得到聚合物溶液Ⅱ；步骤四、在搅拌金属盐溶液的同时将聚合物溶液Ⅱ逐滴滴入金属盐溶液中，在该过程中控制溶液的pH值在6以下；滴加完成后，在室温下搅拌混合溶液10h；然后将混合溶液加热至60～70℃，搅拌，使混合溶液缓慢蒸发至溶液剩余一半，得到前驱体溶液；步骤五、利用旋涂方法将前驱体溶液旋涂在PMN‑PT单晶基底上成膜，旋涂完毕后将样品置于刚玉方舟内进行热处理：空气气氛，以2℃/min升温至700℃，然后以10℃/min升温至800～1000℃，保温2h后以2℃/min缓慢降至室温，得到LaCoO3外延薄膜。