[发明专利]用于三轴光纤陀螺的硅基-LN基混合集成光学芯片

摘要

本发明属于集成光学和光纤传感技术领域，具体涉及一种用于三轴光纤陀螺的硅基‑LN基混合集成光学芯片，该硅基‑LN基混合集成光学芯片由硅基芯片和铌酸锂基两块芯片拼接而成，硅基芯片上集成了输入光波导、1×3Y分支耦合器、第七输出光波导、第一90°圆弧光波导、第一方向耦合器、第八输出光波导、第二90°圆弧光波导、第二方向耦合器、第九输出光波导、第三90°圆弧光波导、第三方向耦合器；铌酸锂基芯片上集成了第一Y分支耦合器、第二Y分支耦合器、第三Y分支耦合器。该芯片混合集成了多个关键功能波导器件，可实现光束分束、合束及调制等，具有集成度高、一致性好、功率低、体积小和可靠性高等众多优点，可应用于开发三轴光纤陀螺。

主权项

1.一种用于三轴光纤陀螺的硅基‑LN基混合集成光学芯片，其特征在于，所述硅基‑LN基混合集成光学芯片由硅基芯片(1)和铌酸锂基芯片(2)拼接而成；所述硅基芯片(1)上集成了输入光波导(3‑1)、1×3Y分支耦合器(3)、第七输出光波导(4‑1)、第一90°圆弧光波导(4‑2)、第一方向耦合器(4)、第八输出光波导(5‑1)、第二90°圆弧光波导(5‑2)、第二方向耦合器(5)、第九输出光波导(6‑1)、第三90°圆弧光波导(6‑2)、第三方向耦合器(6)；所述铌酸锂基芯片(2)上集成了第一Y分支耦合器(7)、第二Y分支耦合器(8)、第三Y分支耦合器(9)和对应设计制作的金属电极(10)；所述硅基芯片(1)的三个方向耦合器的输出光波导的外端面形成连接端；所述铌酸锂基芯片(2)中的三个Y分支输入直波导段的外端面形成连接端；两块芯片的连接端相互拼接在一起并通过波导耦合工艺固定，拼接后，硅基芯片的三个方向耦合器各自的第一输出直波导段分别与铌酸锂基芯片中的三个Y分支的输入直波导段同轴。