[发明专利]测距方法

摘要

本发明提供了一种测距装置和测距方法，其中所述测距装置包括激光发射元件、光路调节元件、基准元件、待测元件和光强探测元件。激光发射元件包括激光器，作为高精度微动测距装置的光源；光路调节元件包括一个括束镜、一个分束镜和一个聚焦镜，分别用于光束的扩大、分束和聚焦；基准元件，包括一个平面镜、直线导轨、滚珠丝杠副和旋转把手，平面镜可沿导轨方向运动；待测元件，包括一个平面镜，安装在被测工件表面；光强探测元件，包括光电探测器和光功率测量仪，用于探测和接收经过聚焦镜的光束、测量此光束的光功率并显示记录，本发明提供的测距装置和测距方法的分辨率可达0.01μm，大大改善了当前高精度测量手段匮乏的现状。

主权项

1.一种测距装置，其特征在于，包括激光发射元件(10)、光路调节元件(20)、测量部分以及光强探测元件(50)；所述测量部分包括基准元件(30)和待测元件(40)；在所述激光发射元件(10)发射的激光光路上依次设置有光路调节元件(20)、测量部分以及光强探测元件(50)。