[发明专利]双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法

摘要

本发明是关于一种双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。该涂层包括基底层；在基底层上依次排布有红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层和减反层；红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层、减反层的热膨胀系数依次降低，所述复合吸收层自下而上依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层和第三吸收亚层。本发明通过磁控溅射法，依次在所述基底层上形成红外反射层、金属过渡层、第一吸收亚层、第二吸收亚层、第三吸收亚层、氧化物过渡层和减反层，得到双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层，其更大程度地降低了各层的界面应力，提高了涂层附着力和高低温循环稳定性。

主权项

1.一种双过渡层复合吸收型太阳光谱选择性吸收涂层，其特征在于，包括：基底层；在所述基底层上依次设有红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层和减反层；所述红外反射层、金属过渡层、复合吸收层、氧化物过渡层和减反层的热膨胀系数依次降低；所述复合吸收层依次包括第一吸收亚层、第二吸收亚层和第三吸收亚层；所述的第一吸收亚层与所述金属过渡层接触，所述的第三吸收亚层与所述氧化物过渡层接触；其中，所述第一吸收亚层的材料为CrNx1Oy1；所述第二吸收亚层的材料为CrNx2Oy2；所述第三吸收亚层的材料为CrNx3Oy3；所述CrNx1Oy1、CrNx2Oy2、CrNx3Oy3的折射率依次降低；所述CrNx1Oy1、CrNx2Oy2、CrNx3Oy3消光系数依次降低。