[发明专利]OLED掩模板蒸镀检测清洁装置在审

专利信息
申请号: 201811523639.2 申请日: 2018-12-13
公开(公告)号: CN111318515A 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 唐军 申请(专利权)人: 湖北浚山光电有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B5/04;C23C14/04
代理公司: 黄石市三益专利商标事务所 42109 代理人: 饶卓识
地址: 435000 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及OLED掩模板蒸镀检测清洁装置,具有机体,机体分为上、中、下三层,上层为吹风室,中层为掩模板放置室,下层为吸风室,吹风室的顶部安装吹风机,底部设有过滤膜;掩模板放置室的顶部设有支架,支架上固定有若干根紫光灯;掩模板放置室的底部为一个四棱锥台,四棱锥台的底部开有抽风孔,四棱锥台的顶部布置有若干根掩模板放置杆;吸风室内设有抽风机和电控箱,电控箱分别与吹风机、抽风机和紫光灯连接;所述掩模板放置室配装有室门,室门上设有观察窗;所述吸风室配装有室门,室门为对开门,室门上设有控制开关;本发明结构设计简单,使用效果好,对OLED掩模板进行有效清洁,提高产品质量。
搜索关键词: oled 模板 检测 清洁 装置
【主权项】:
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