[发明专利]一种图像传感单元及其制作方法、图像传感器

摘要

本发明公开了一种图像传感单元及其制作方法、图像传感器，其中，图像传感单元设置有陷光结构，入射光经过陷光结构反射、散射、折射后被分散到各个角度，加上侧壁反射墙的反射作用，可以延长光在图像传感单元中的有效光程，从而提高了光在图像传感单元中的吸收效率，而不需增加器件厚度；另外，一种图像传感单元的制作方法，实现了图像传感单元的制作，其中，图像传感单元具有第一陷光结构和第二陷光结构，可以提高图像传感单元的光吸收效率。

主权项

1.一种图像传感单元，其特征在于，所述图像传感单元由下至上依次设置有衬底、电路层、氧化硅层和硅探测层，所述硅探测层的四周设置有侧壁反射墙，所述图像传感单元中设置有陷光结构。